加上之前在研发光刻胶的时候,材料研究所制造了一些副产品,其中就有可以吸收x射线的材料。
神光仪器在设计的一开始就非常注意x射线辐射的问题,他们利用这种材料,制造了一些可拆卸的辐射吸收隔板。
这些隔板可以吸收绝大部分散射出来的x射线,从而减少x射线对于周围环境的辐射剂量。
尽管这样做,需要隔一段时间更换一次隔板,但是至少员工不会因此辐射超标。
其实目前这个辐射剂量比医院的x光片(0.1(2~15msv),那是小得非常多,就和我们日常看电视受到的辐射剂量差不多。
加上工作人员的防护服也是神光仪器自己改造的产品,可以进一步阻挡x射线,所以这里的环境辐射,和外面环境已经没有太大差别。
“整体符合预期,环境辐射剂量在0.0032~0.0047毫西弗之间。”
负责记录的官方人员连忙将数据记录在表格上面。
接下来才是重头戏,这些专家们借用神光仪器的设备,检测了光刻机的精度以及其他各项参数。
单单是这个工作他们就进行了一个多星期,主要是为了确保万无一失,免得到时候成为一个国际笑话。